Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Влияние температуры отжига на электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами германия
Поиск

Влияние температуры отжига на электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами германия

Авторы: Соболев, Н. А. Александров, О. В. Сахаров, В. И. Серенков, И. Т. Шек, Е. И. Калядин, А. Е. Паршин, Е. О. Мелесов, Н. С.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Влияние температуры отжига на электрически активные центры в кремнии, имплантированном ионами германия
Электронный ресурс
Ключевые слова температура отжига
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 2. - С. 161-164
Имя макрообъекта Соболев_влияние