| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/694192411 |
| Дата корректировки | 15:18:06 30 декабря 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2019.02.47101.8956 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Басалаева, Л. С. | |
|
Микромассивы кремниевых нанопилларов: формирование и резонансное отражение света Электронный ресурс |
|
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
| Аннотация | Представлены результаты исследования спектральных характеристик отражения микромассивов кремниевых нанопилларов (Si НП) в диапазоне длин волн от 400 до 1100 нм. Кремниевые нанопиллары были сформированы методом электронной литографии на негативном резисте с последующим реактивным ионным травлением через маску из резиста и SiO[2] толщиной 100 нм. В спектрах отражения микромассивов нанопилларов наблюдаются минимумы, положения которых сильно зависят от диаметра нанопилларов. |
| Ключевые слова | микромассивы кремниевых нанопилларов |
|
кремниевые нанопиллары нанопиллары резонансное отражение света ионное травление |
|
|
Настаушев, Ю. В. Дульцев, Ф.Н. Крыжановская, Н. В. Моисеев, Э. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 2. - С. 216-220 |
|
| Имя макрообъекта | Басалаева_микромассивы |
| Тип документа | b |
