Поиск

Эллипсометрический метод измерения температуры буферных слоев CdTe в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии CdHgTe

Авторы: Швец, В. А. Азаров, И. А. Марин, Д. В. Якушев, М. В. Рыхлицкий, С. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Эллипсометрический метод измерения температуры буферных слоев CdTe в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии CdHgTe
Электронный ресурс
Ключевые слова молекулярно-лучевая эпитаксия
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 1. - С. 137-142
Имя макрообъекта Швец_эллипсометрический