Индекс УДК | 621.315.592 |
Эллипсометрический метод измерения температуры буферных слоев CdTe в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии CdHgTe Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | молекулярно-лучевая эпитаксия |
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 1. - С. 137-142 |
|
Имя макрообъекта | Швец_эллипсометрический |