Индекс УДК | 621.315.592 |
Энергия связи пластин кремния и сапфира при повышенных температурах соединения Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | кремний |
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 1. - С. 65-69 |
|
Имя макрообъекта | Тысченко_энергия |