| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp21_to129_vy8_ss1037_ad1 |
| Дата корректировки | 12:19:41 29 ноября 2021 г. |
| Кодируемые данные | 211028s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
DOI 10. 21883/OS. 2021. 08. 51199. 2158-21 |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp21_to129_vy8_ss1037_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 539.21:535 |
| Индекс ББК | 22.374 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Комаров, Ф. Ф. Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ; Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" 070 |
|
|
Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном Ф. Ф. Комаров, И. Н. Пархоменко, О. В. Мильчанин [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | граф., табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 1046-1047 (31 назв.) |
| Аннотация | Слои кремния, легированные селеном до концентраций 4-6x10{20} cm{-3}, что на 4 порядка величины превышает предел равновесной растворимости этой примеси, получены ионной имплантацией с последующим импульсным лазерным отжигом (ИЛО) при плотностях энергии в импульсе W=0. 55, 0. 8, 1. 0, 1. 5, 2. 0 и 2. 5 J/cm{2}. Методом обратного резерфордовского рассеяния ионов гелия показано, что до 60-70 % внедренной примеси находится в позиции замещения в решетке кремния. Слои, гипердопированные селеном, проявляют существенное поглощение (36-40 %) в области длин волн 1100-2400 nm. Проведено сравнение спектров поглощения слоев кремния в зависимости от режимов лазерного отжига. Показано, что отжиг при W=2. 0 J/cm{2} является оптимальным с позиции максимального структурного совершенства гипердопированных слоев кремния. Данный фактор очень важен для применений сформированных структур в фотодетекторах и элементах солнечной энергетики. В то же время поглощение в видимом и ближнем ИК диапазонах длин волн достигает максимального значения после отжига при W=1. 0 J/cm{2} и практически не меняется при дальнейшем увеличении плотности энергии в импульсе. |
|
Физика AR-MARS Оптические свойства твердых тел AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
лазерный отжиг импульсный лазерный отжиг кремний оптические свойства кремния селен гипердопирование селеном режимы лазерного отжига поглощение света отражение света |
|
Пархоменко, И. Н. Белорусский государственный университет 070 Мильчанин, О. В. Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ 070 Ивлев, Г. Д. Белорусский государственный университет 070 Власукова, Л. А. Белорусский государственный университет 070 Жук, Ю. Университет М. Кюри-Склодовской 070 Цивако, А. А. ОАО "Интеграл" 070 Ковальчук, Н. С. Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ 070 |
|
| ISSN | 0030-4034 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 8. - С. 1037-1047 |
|
RU 19013582 20211028 RCR |
|
|
RU 19013582 20211028 |
|
|
RU AR-MARS 20211029 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20211029 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
opsp 2021 129 8 1037 1 |
|
| 13761 | |
| Спектроскопия конденсированного состояния |
