| Индекс УДК | 539.21:535 |
|
Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном Ф. Ф. Комаров, И. Н. Пархоменко, О. В. Мильчанин [и др.] |
|
| Аннотация | Слои кремния, легированные селеном до концентраций 4-6x10{20} cm{-3}, что на 4 порядка величины превышает предел равновесной растворимости этой примеси, получены ионной имплантацией с последующим импульсным лазерным отжигом (ИЛО) при плотностях энергии в импульсе W=0. 55, 0. 8, 1. 0, 1. 5, 2. 0 и 2. 5 J/cm{2}. Методом обратного резерфордовского рассеяния ионов гелия показано, что до 60-70 % внедренной примеси находится в позиции замещения в решетке кремния. Слои, гипердопированные селеном, проявляют существенное поглощение (36-40 %) в области длин волн 1100-2400 nm. Проведено сравнение спектров поглощения слоев кремния в зависимости от режимов лазерного отжига. Показано, что отжиг при W=2. 0 J/cm{2} является оптимальным с позиции максимального структурного совершенства гипердопированных слоев кремния. Данный фактор очень важен для применений сформированных структур в фотодетекторах и элементах солнечной энергетики. В то же время поглощение в видимом и ближнем ИК диапазонах длин волн достигает максимального значения после отжига при W=1. 0 J/cm{2} и практически не меняется при дальнейшем увеличении плотности энергии в импульсе. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 8. - С. 1037-1047 |
