| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Прецизионное химическое травление эпитаксиальных слоев GaP(NAs) для формирования монолитных оптоэлектронных приборов Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | монолитные оптоэлектронные приборы |
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 13. - С. 1668-1674 |
|
| Имя макрообъекта | Кудряшов_прецизионное |
