| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690974287 |
| Дата корректировки | 9:18:08 23 ноября 2021 г. |
| 10.21883/OS.2020.10.50029.138-20 | |
| Служба первич. каталог. | Феллер |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Тихий, А. А. | |
|
Спектральные и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
| Аннотация | Представлены результаты исследования спектров оптического пропускания и рентгеновской дифракции тонких пленок In[2]O[3], полученных методом DC-магнетронного распыления на подложках Al[2]O[3] (012). В дифрактограммах присутствует рефлекс, соответствующий плоскости (222) кубического In[2]O[3]. Его положение смещается с 30.3 к 30.6° при уменьшении толщины пленки. Полуширина этого рефлекса убывает с уменьшением времени напыления, что может указывать на увеличение размера зерен материала пленки. Согласно измерениям оптического пропускания, на границе раздела между пленкой и подложкой было установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 eV и толщиной около 40 nm. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. |
|
оксид индия тонкие пленки оптическое пропускание рентгеноструктурный анализ пленки оксида индия сапфировые подложки |
|
|
Николаенко, Ю. М. Жихарева, Ю. И. Жихарев, И. В. |
|
|
Оптика и спектроскопия 2020 Т. 128, вып. 10. - С. 1544-1547 |
|
| Имя макрообъекта | Тихий_спектральные |
| Тип документа | b |
