| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690903143 |
| Дата корректировки | 13:36:13 22 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.12.46771.8855 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Ильин, А. С. | |
|
Электрические свойства тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения Электронный ресурс |
|
| Electrical properties of indium oxide thin films deposited by plasma-enhanced reactive thermal evaporation | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 24 назв. |
| Аннотация | Исследованы структура и электрические свойства прозрачных тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения при различных температурах подложки. Определено, что пленки имеют зернистую структуру. Увеличение температуры подложки приводит к значительному росту проводимости пленок и к уменьшению времени релаксации фотопроводимости. Предложено объяснение влияния температуры подожки на наблюдаемые изменения электрических и фотоэлектрических свойств исследованных пленок оксида индия. |
| Ключевые слова | тонкие пленки оксида индия |
|
оксид индия плазменно-термическое испарение кинетика фотопроводимости |
|
|
Мацукатова, А. Н. Форш, П. А. Vygranenko, Yu. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 12. - С. 1535-1538 |
|
| Имя макрообъекта | Ильин_электрические |
| Тип документа | b |
