| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Электрические свойства тонких пленок оксида индия, полученных методом плазменно-термического испарения Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | тонкие пленки оксида индия |
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 12. - С. 1535-1538 |
|
| Имя макрообъекта | Ильин_электрические |
