| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690543029 |
| Дата корректировки | 9:43:20 18 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.11.46592.14 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Юнин, П. А. | |
|
Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек Электронный ресурс |
|
| Investigation of the structural and morphological properties of HPHT diamond substrates | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | Методами оптической интерференционной микроскопии белого света, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии проведены комплексные исследования морфологических и структурных свойств серии монокристаллических HPHT алмазных подложек. Описаны методики, позволяющие охарактеризовать наиболее критичные для эпитаксиального применения параметры подложек на лабораторном оборудовании. Показано, что характеризации алмазных подложек только по ювелирному типу недостаточно при оценке возможности их использования для эпитаксиального роста CVD-алмаза. |
| Ключевые слова | алмазные подложки |
|
монокристаллы алмазов эпитаксиальный рост CVD-алмаза оптическая интерференционная микроскопия атомно-силовая микроскопия рентгеновская дифрактометрия дифракционный пик |
|
|
Волков, П. В. Дроздов, Ю. Н. Колядин, А. В. Королев, С. А. Радищев, Д. Б. Суровегина, Е. А. Шашкин, В. И. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 52, вып. 11. - С. 1321-1325 |
| Имя макрообъекта | Юнин_исследование |
| Тип документа | b |
