Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек - Статьи - Базы данных - БГТУ

Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек

Авторы: Юнин, П. А. Волков, П. В. Дроздов, Ю. Н. Колядин, А. В. Королев, С. А. Радищев, Д. Б. Суровегина, Е. А. Шашкин, В. И.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек Электронный ресурс
Аннотация	Методами оптической интерференционной микроскопии белого света, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии проведены комплексные исследования морфологических и структурных свойств серии монокристаллических HPHT алмазных подложек. Описаны методики, позволяющие охарактеризовать наиболее критичные для эпитаксиального применения параметры подложек на лабораторном оборудовании. Показано, что характеризации алмазных подложек только по ювелирному типу недостаточно при оценке возможности их использования для эпитаксиального роста CVD-алмаза.
Ключевые слова	алмазные подложки
Название источника	Физика и техника полупроводников
Место и дата издания	2018
Прочая информация	Т. 52, вып. 11. - С. 1321-1325
Имя макрообъекта	Юнин_исследование