| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/689177835 |
| Дата корректировки | 14:40:06 2 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.06.44491.377 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Боряков, А. В. | |
|
Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур a-SiO[x]/ZrO[2], подвергнутых высокотемпературному отжигу Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 37 назв. |
| Аннотация | Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с послойным травлением выполнен анализ химического и фазового состава многослойных нанопериодических структур SiO[x]/ZrO[2], полученных испарением в вакууме из раздельных источников и подвергнутых высокотемпературному отжигу. Установлено, что при используемых условиях напыления слои субоксида кремния имели коэффициент стехиометричности x ~ 1.8, а цирконийсодержащие слои представляли собой стехиометрический диоксид циркония. С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии обнаружено, что отжиг многослойных структур при 1000°C приводит к взаимодиффузии компонентов и химическому взаимодействию ZrO[2] и SiO[x] c образованием преимущественно силиката циркония на гетерограницах структур. Слои SiO[x] отожженных наноструктур содержали ~ 5 at.% элементарного кремния как следствие фазового разделения и формирования нанокристаллов кремния малого размера. |
| Ключевые слова | многослойные наноструктуры |
|
нанопериодические структуры субоксид кремния диоксид циркония химический состав фазовый состав отжиг высокотемпературный отжиг |
|
| Другие авторы | Суродин, С. И. |
|
Николичев, Д. Е. Ершов, А. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 6. - С. 1183-1191 |
| Имя макрообъекта | Боряков_химический |
| Тип документа | b |
