Индекс УДК | 539.21 |
Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур a-SiO[x]/ZrO[2], подвергнутых высокотемпературному отжигу Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | многослойные наноструктуры |
Другие авторы | Суродин, С. И. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 59, вып. 6. - С. 1183-1191 |
Имя макрообъекта | Боряков_химический |