| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | stik21_no9_ss3_ad1 |
| Дата корректировки | 12:28:24 29 октября 2021 г. |
| Кодируемые данные | 211004s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-stik21_no9_ss3_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Российского Федерального Ядерного центра - Всероссийского научно-исследовательского института технической физики им. акад. Е. И. Забабахина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.29 |
| Индекс ББК | 35.42 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
| 61.35.29 | |
|
Липатьева, Т. О. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 |
|
|
Управление процессом жидкостного лазерно-индуцированного травления кварцевого стекла Т. О. Липатьева, А. С. Липатьев, Я. В. Кулакова [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 4 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 7-8 (24 назв.) |
| Аннотация | Исследовано влияние параметров лазерного излучения и состава травильного раствора на длину полых каналов, формируемых в кварцевом стекле одностадийным методом пространственно-селективного жидкостного травления под действием фемтосекундного лазерного пучка. Предложен многопроходный метод, значительно увеличивший длину канала до 180 мкм. Использование травильных растворов, эффективно растворяющих трещиноватый слой формируемых каналов, позволяет получать более глубокие и широкие каналы при сохранении высокой селективности. |
|
Химическая технология AR-MARS Керамические изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
жидкостное травление кварцевое стекло лазерная кристаллизация фемтосекундный лазер |
|
Липатьев, А. С. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Кулакова, Я. В. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Лотарев, С. В. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Федотов, С. С. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 Прусова, И. В. Белорусский национальный технический университет, Минск (Беларусь) 070 Сигаев, В. Н. Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва (Россия) 070 |
|
| ISSN | 0131-9582 |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | № 9. - С. 3-8 |
|
RU 45642206 20211004 RCR |
|
|
RU 45642206 20211004 |
|
|
RU AR-MARS 20211015 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20211015 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
stik 2021 9 3 1 |
|
| 965 |
