| Индекс УДК | 666.29 |
|
Управление процессом жидкостного лазерно-индуцированного травления кварцевого стекла Т. О. Липатьева, А. С. Липатьев, Я. В. Кулакова [и др.] |
|
| Аннотация | Исследовано влияние параметров лазерного излучения и состава травильного раствора на длину полых каналов, формируемых в кварцевом стекле одностадийным методом пространственно-селективного жидкостного травления под действием фемтосекундного лазерного пучка. Предложен многопроходный метод, значительно увеличивший длину канала до 180 мкм. Использование травильных растворов, эффективно растворяющих трещиноватый слой формируемых каналов, позволяет получать более глубокие и широкие каналы при сохранении высокой селективности. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | № 9. - С. 3-8 |
