Индекс УДК | 621.315.592 |
Влияние примеси бора на излучательные свойства дислокационных структур в кремнии, сформированных путем имплантации ионов Si{+} Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | имплантация ионов Si{+} |
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 7. - С. 702-707 |
|
Имя макрообъекта | Терещенко_влияние |