Поиск

Влияние примеси бора на излучательные свойства дислокационных структур в кремнии, сформированных путем имплантации ионов Si{+}

Авторы: Терещенко, А. Н. Королёв, Д. С. Королев, Д. С. Михайлов, А. Н. Белов, А. И. Никольская, А. А. Павлов, Д. А. Тетельбаум, Д. И. Штейнман, Э. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Влияние примеси бора на излучательные свойства дислокационных структур в кремнии, сформированных путем имплантации ионов Si{+}
Электронный ресурс
Ключевые слова имплантация ионов Si{+}
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 7. - С. 702-707
Имя макрообъекта Терещенко_влияние