| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/688467846 |
| Дата корректировки | 9:24:19 25 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.04.44279.261 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Егоров, В. К. | |
|
Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Методом каналирования ионов исследованы образцы карбида кремния, синтезированные из кремния методом топохимического замещения атомов. Результаты анализа однозначно доказывают наличие структурной гетероэпитаксии. Решетка синтезируемого карбида кремния гексагонального политипа 6H эпитаксиально согласована в направлении 0001 с решеткой исходного кремния подложки в направлении 111. Выявлены основные особенности структурного самосогласования в этом эпитаксиальном гетерокомпозите. Несмотря на очень большое несоответствие параметров решеток карбида кремния и кремния, плотность дислокаций несоответствия на границе раздела невелика, что является особенностью метода топохимического замещения атомов, приводящего к соизмеримым структурам. |
| Ключевые слова | кремний |
|
гексагональный политип 6H карбид кремния топохимическое превращение гетероэпитаксия структурная гетероэпитаксия |
|
| Другие авторы | Егоров, Е. В. |
|
Кукушкин, С. А. Осипов, А. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 4. - С. 755-761 |
| Имя макрообъекта | Егоров_структурная |
| Тип документа | b |
