| Индекс УДК | 539.21 |
|
Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | кремний |
| Другие авторы | Егоров, Е. В. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 4. - С. 755-761 |
| Имя макрообъекта | Егоров_структурная |
