| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние химической подготовки поверхности кремния на качество и структуру эпитаксиальных пленок карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | эпитаксиальные пленки SiC |
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 6. - С. 656-663 |
|
| Имя макрообъекта | Калинкин_влияние |
