| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687516748 |
| Дата корректировки | 8:57:47 14 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.03.45629.8682 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Агекян, В. Ф. | |
|
Формирование кристаллических слоев Cu[2]O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация Электронный ресурс |
|
| Formation of Cu[2]O and ZnO crystalline films by magnetron assisted sputtering and their optical characterization | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 22 назв. |
| Аннотация | Методом магнетронного распыления сформированы пленки оксида меди (I) и оксида цинка толщиной в десятки и сотни нанометров на подложках из кремния и кварцевого стекла. Рост производился при различных температурах подложки и давлениях кислорода в рабочей камере. Образцы пленок исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии и оптическими методами. Установлено, что увеличение температуры подложки приводит к изменению морфологии поверхности пленок оксида меди (I) в сторону образования отчетливо выраженных кристаллитов. Спектры отражения и рамановского рассеяния свидетельствуют о том, что качество таких пленок близко к качеству объемных кристаллов Cu[2]O, полученных методом окисления меди. Что касается ZnO, то повышение температуры подложки и увеличение парциального давления кислорода позволяет получить пленки, в спектрах отражения которых наблюдается резкая экситонная структура, а в спектрах люминесценции - излучение экситонов, связанных на донорах. |
| Ключевые слова | кристаллические слои |
|
магнетронное распыление пленки оксида меди оксид меди пленки оксида цинка оксид цинка рентгеновская дифракция спектры отражения спектры люминесценции экситоны |
|
|
Борисов, Е. В. Гудовских, А. С. Кудряшов, Д. А. Монастыренко, А. О. Серов, А. Ю. Философов, Н. Г. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 3. - С. 147-153 |
|
| Имя макрообъекта | Агекян_формирование |
| Тип документа | b |
