Индекс УДК | 621.315.592 |
Формирование кристаллических слоев Cu[2]O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | кристаллические слои |
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 3. - С. 147-153 |
|
Имя макрообъекта | Агекян_формирование |