Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO[x]N[y] при отжиге под высоким давлением
Поиск

Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO[x]N[y] при отжиге под высоким давлением

Авторы: Тысченко, И. Е. Кривякин, Г. К. Володин, В. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO[x]N[y] при отжиге под высоким давлением
Электронный ресурс
Ключевые слова ионный синтез
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 2. - С. 280-284
Имя макрообъекта Тысченко_ионный