| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Исследование сегрегации сурьмы при эпитаксиальном росте на подложках Si с различной кристаллографической ориентацией Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | сегрегация сурьмы |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 12. - С. 1611-1615 |
|
| Имя макрообъекта | Юрасов_исследование |
