Индекс УДК | 621.315.592 |
Селективное травление Si, SiGe и Ge и использование его для повышения эффективности кремниевых солнечных элементов Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | cелективное травление |
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 12. - С. 1599-1604 |
|
Имя макрообъекта | Байдакова_селективное |