Поиск

Селективное травление Si, SiGe и Ge и использование его для повышения эффективности кремниевых солнечных элементов

Авторы: Байдакова, Н. А. Вербус, В. А. Морозова, Е. Е. Новиков, А. В. Скороходов, Е. В. Шалеев, М. В. Юрасов, Д. В. Hombe, A. Kurokawa, Y. Usami, N.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Селективное травление Si, SiGe и Ge и использование его для повышения эффективности кремниевых солнечных элементов
Электронный ресурс
Ключевые слова cелективное травление
Физика и техника полупроводников
2017
Т. 51, вып. 12. - С. 1599-1604
Имя макрообъекта Байдакова_селективное