| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Особенности селективного легирования марганцем GaAs структур Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | селективное легирование |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 11. - С. 1468-1472 |
|
| Имя макрообъекта | Калентьева_особенности |
