| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Исследование влияния сурфактанта Ga при высокотемпературной аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии слоев AlN на свойства нитридных гетероструктур Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | сурфактанты |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 51, вып. 11. - С. 1507-1509 |
| Имя макрообъекта | Алексеев_исследование |
