Поиск

Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием

Авторы: Стаськов, Н. И. Сотский, А. Б. Сотская, Л. И. Гапоненко, Н. В. Лашковская, Е. И. Петлицкий, А. Н. Козлов, А. А.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер opsp21_to129_vy4_ss506_ad1
Дата корректировки 8:11:12 1 октября 2021 г.
Кодируемые данные 210205s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0|
DOI
10. 21883/OS. 2021. 04. 50782. 287-20
Системный контрольный номер RUMARS-opsp21_to129_vy4_ss506_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.2/.3
Индекс ББК 22.343
Таблицы для массовых библиотек
Стаськов, Н. И.
Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
070
Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием
Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, Л. И. Сотская [и др.]
Иллюстрации/ тип воспроизводства граф., ил.
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 511 (13 назв.)
Аннотация Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель-технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательной способности структуры при нормальном падении света. Легирование европием титаната бария приводит к уменьшению длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения, увеличению ширины запрещенной зоны материала в приповерхностном слое пленки и снижению концентрации европия вглубь пленки.
Физика
AR-MARS
Физическая оптика
AR-MARS
Ключевые слова титанат бария
легированный европий
многоугловая спектрофотометрия
эллипсометрия
оптические характеристики
неоднородные пленки
поглощающие пленки
Сотский, А. Б.
Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
070
Сотская, Л. И.
Белорусско-Российский университет
070
Гапоненко, Н. В.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
070
Лашковская, Е. И.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
070
Петлицкий, А. Н.
Белмикросистемы НТЦ Филиал ОАО Интеграл
070
Козлов, А. А.
Пермский государственный национальный исследовательский университет
070
ISSN 0030-4034
Название источника Оптика и спектроскопия
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 129, вып. 4. - С. 506-511
RU
19013582
20210205
RCR
RU
19013582
20210205
RU
AR-MARS
20210921
RCR
RU
AR-MARS
20210921
Тип документа b
code
year
to
vy
ss
ad
opsp
2021
129
4
506
1
13761
Физическая оптика