Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | opsp21_to129_vy4_ss506_ad1 |
Дата корректировки | 8:11:12 1 октября 2021 г. |
Кодируемые данные | 210205s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
DOI 10. 21883/OS. 2021. 04. 50782. 287-20 |
|
Системный контрольный номер | RUMARS-opsp21_to129_vy4_ss506_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
rus rus |
Индекс УДК | 535.2/.3 |
Индекс ББК | 22.343 |
Таблицы для массовых библиотек | |
Стаськов, Н. И. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова 070 |
|
Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, Л. И. Сотская [и др.] |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | граф., ил. |
Текст | |
непосредственный | |
Библиография | Библиогр.: с. 511 (13 назв.) |
Аннотация | Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель-технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательной способности структуры при нормальном падении света. Легирование европием титаната бария приводит к уменьшению длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения, увеличению ширины запрещенной зоны материала в приповерхностном слое пленки и снижению концентрации европия вглубь пленки. |
Физика AR-MARS Физическая оптика AR-MARS |
|
Ключевые слова |
титанат бария легированный европий многоугловая спектрофотометрия эллипсометрия оптические характеристики неоднородные пленки поглощающие пленки |
Сотский, А. Б. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова 070 Сотская, Л. И. Белорусско-Российский университет 070 Гапоненко, Н. В. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники 070 Лашковская, Е. И. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники 070 Петлицкий, А. Н. Белмикросистемы НТЦ Филиал ОАО Интеграл 070 Козлов, А. А. Пермский государственный национальный исследовательский университет 070 |
|
ISSN | 0030-4034 |
Название источника | Оптика и спектроскопия |
Место и дата издания | 2021 |
Прочая информация | Т. 129, вып. 4. - С. 506-511 |
RU 19013582 20210205 RCR |
|
RU 19013582 20210205 |
|
RU AR-MARS 20210921 RCR |
|
RU AR-MARS 20210921 |
|
Тип документа | b |
code year to vy ss ad |
|
opsp 2021 129 4 506 1 |
|
13761 | |
Физическая оптика |