| Индекс УДК | 535.2/.3 |
|
Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, Л. И. Сотская [и др.] |
|
| Аннотация | Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель-технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательной способности структуры при нормальном падении света. Легирование европием титаната бария приводит к уменьшению длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения, увеличению ширины запрещенной зоны материала в приповерхностном слое пленки и снижению концентрации европия вглубь пленки. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 4. - С. 506-511 |
