| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/684258584 |
| Дата корректировки | 16:03:49 6 сентября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.05.45804.193 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Терехов, В. А. | |
|
Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al[1-x]Si[x] при магнетронном и ионно-лучевом напылении Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | Методами рентгеновской дифракции и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии исследованы особенности фазового состава и электронного строения композитных пленок алюминий-кремний вблизи состава Al[0.75]Si[0.25] на кремниевой подложке Si(100), полученных методами магнетронного и ионно-лучевого напыления. При магнетронном напылении в поликристаллической Al матрице кроме нанокристаллов кремния размерами около 25 nm, образуется упорядоченный твердый раствор, соответствующий неизвестной ранее фазе Al[3]Si. Пленки, полученные ионно-лучевым распылением составной мишени, оказались однофазными и содержащими только одну фазу упорядоченного твердого раствора силицида алюминия Al[3]Si кубической сингонии Рm3m с параметром примитивной ячейки a = 4.085 A. Однако последующий импульсный фотонный отжиг различными дозами от 145 до 216 J/cm{2} приводит к частичному распаду фазы Al[3]Si с формированием в композите свободного металлического алюминия и нанокристаллов кремния с размерами в интервале 50-100 nm в зависимости от дозы ИФО. |
| Ключевые слова | пленки алюминий-кремний |
|
композитные пленки фазовый состав электронное строение магнетронное напыление ионно-лучевое напыление |
|
| Другие авторы | Усольцева, Д. С. |
|
Сербин, О. В. Занин, И. Е. Куликова, Т. В. Нестеров, Д. Н. Барков, К. А. Ситников, А. В. Лазарук, С. К. Домашевская, Э. П. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 5. - С. 1005-1011 |
| Имя макрообъекта | Терехов_особенности |
| Тип документа | b |
