Индекс УДК | 539.21 |
Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al[1-x]Si[x] при магнетронном и ионно-лучевом напылении Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | пленки алюминий-кремний |
Другие авторы | Усольцева, Д. С. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2018 |
Прочая информация | Т. 60, вып. 5. - С. 1005-1011 |
Имя макрообъекта | Терехов_особенности |