| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Генерация поверхностных электронных состояний на границе раздела кремний-сверхтонкий окисел в процессе полевого повреждения структур металл-окисел-полупроводник Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | окислы кремния |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 51, вып. 9. - С. 1185-1188 |
| Имя макрообъекта | Гольдман_генерация |
