| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Особенности процесса спекания макропористого кремния в атмосфере аргона Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | макропористый кремний |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 9. - С. 1213-1222 |
|
| Имя макрообъекта | Астрова_особенности |
