| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/682159966 |
| Дата корректировки | 9:17:52 13 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.12.48589.552 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Перевалов, Т. В. | |
|
Наноразмерные флуктуации потенциала в SiO[x] , синтезированном плазмохимическим осаждением Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 33 назв. |
| Аннотация | Работа посвящена исследованию атомной структуры и электронного спектра пленок a-SiO[x] : H, нанесенных на кремниевые и стеклянные подложки методом плазмохимического осаждения. В зависимости от условий подачи кислорода в реактор стехиометрический параметр x пленок варьировался в диапазоне значений от 0.57 до 2. Характеризация строения пленок и особенностей их электронной структуры в зависимости от величины параметра x осуществлялась с применением комплекса структурных и оптических методик, а также ab initio квантово-химического моделирования для модельной структуры SiO[x]. Установлено, что изучаемые пленки SiO[x] : H главным образом состоят из субоксидов кремния SiO[y], а также кластеров SiO[2] и аморфного кремния. На основе пространственных флуктуаций химического состава предложена модель флуктуации ширины запрещенной зоны и потенциала для электронов и дырок в SiO[x] . Полученные данные позволят более точно моделировать транспорт заряда в пленках a-SiO[x] : H, что важно для создания на их основе элементов энергонезависимой памяти и мемристоров. |
| Ключевые слова | пленки |
|
оксид кремния кремниевые подложки стеклянные подложки электронная структура комбинационное рассеяние рамановское рассеяние фотоэлектронная спектроскопия просвечивающая электронная микроскопия плазмохимическое осаждение резистивная память |
|
| Другие авторы | Володин, В. А. |
|
Новиков, Ю. Н. Камаев, Г. Н. Гриценко, В. А. Просвирин, И. П. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2528-2535 |
| Имя макрообъекта | Перевалов_наноразмерные |
| Тип документа | b |
