Индекс УДК | 539.21 |
Наноразмерные флуктуации потенциала в SiO[x] , синтезированном плазмохимическим осаждением Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | пленки |
Другие авторы | Володин, В. А. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2019 |
Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2528-2535 |
Имя макрообъекта | Перевалов_наноразмерные |