| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/682082899 |
| Дата корректировки | 12:15:13 12 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.12.48608.47ks | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Егоров, В. К. | |
|
Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 24 назв. |
| Аннотация | Показано, как совместное использование методов резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенофлуоресцентного анализа в условиях полного внешнего отражения потока возбуждающего жесткого рентгеновского излучения и регистрации выхода рентгеновского излучения при ионном возбуждении позволяет эффективно диагностировать элементный состав тонкопленочных покрытий и пленок сухих остатков жидкостей. Представлена краткая характеристика этих методов и особенностей их экспериментального применения. Приведены примеры комплексного методического анализа реальных объектов. Указано на возможность повышения эффективности методов рентгенофлуоресцентного анализа материалов за счет включения в рентгенооптические схемы экспериментальных измерений плоских рентгеновских волноводов-резонаторов. |
| Ключевые слова | тонкопленочные покрытия |
|
тонкие приповерхностные слои приповерхностные слои элементный состав резерфордовское обратное рассеяние рентгенофлуоресцентный анализ |
|
| Другие авторы | Егоров, Е. В. |
| Афанасьев, М. С. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2454-2460 |
| Имя макрообъекта | Егоров_ионно-пучковые |
| Тип документа | b |
