| Индекс УДК | 539.21 |
|
Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | тонкопленочные покрытия |
| Другие авторы | Егоров, Е. В. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2454-2460 |
| Имя макрообъекта | Егоров_ионно-пучковые |
