| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/681574263 |
| Дата корректировки | 14:19:45 6 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.08.44792.8532 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Шуман, В. Б. | |
|
Высокотемпературная диффузия магния в бездислокационном кремнии Электронный ресурс |
|
| High-temperature magnesium diffusion in dislocation-free silicon | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
| Аннотация | С использованием сандвич-метода легирования монокристаллического бездислокационного кремния магнием исследована диффузия примеси в диапазоне температур 1000-1200°С. Найденная зависимость коэффициента диффузии межузельного магния от температуры универсальным образом описывает данные настоящей работы и ранее исследованную температурную область 600-800°С. Малая энергия активации диффузии (1.83 эВ) свидетельствует о межузельном транспорте примеси. |
| Ключевые слова | высокотемпературная диффузия магния |
|
межузельный магний бездислокационный кремний кремний сандвич-метод межузельный транспорт легирование |
|
|
Астров, Ю. А. Лодыгин, А. Н. Порцель, Л. М. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 8. - С. 1075-1077 |
|
| Имя макрообъекта | Шуман_высокотемпературная |
| Тип документа | b |
