| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Высокотемпературная диффузия магния в бездислокационном кремнии Электронный ресурс |
|
| Аннотация | С использованием сандвич-метода легирования монокристаллического бездислокационного кремния магнием исследована диффузия примеси в диапазоне температур 1000-1200°С. Найденная зависимость коэффициента диффузии межузельного магния от температуры универсальным образом описывает данные настоящей работы и ранее исследованную температурную область 600-800°С. Малая энергия активации диффузии (1.83 эВ) свидетельствует о межузельном транспорте примеси. |
| Ключевые слова | высокотемпературная диффузия магния |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 8. - С. 1075-1077 |
|
| Имя макрообъекта | Шуман_высокотемпературная |
