Поиск

Исследование температурной зависимости спектров оптических постоянных пленок Hg[1-x]Cd[x]Te, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии

Авторы: Швец, В. А. Марин, Д. В. Якушев, М. В. Рыхлицкий, С. В.
Подробная информация
Индекс УДК 535.2/.3
Исследование температурной зависимости спектров оптических постоянных пленок Hg[1-x]Cd[x]Te, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
В. А. Швец, Д. В. Марин, М. В. Якушев, С. В. Рыхлицкий
Аннотация На основе проведeнных in situ и ex situ эллипсометрических измерений найдены спектральные зависимости температурной чувствительности оптических постоянных Hg[1-x]Cd[x]Te - dn (лямбда) и dk (лямбда) для серии образцов разного состава в диапазоне от 0. 160 до 0. 327. Эксперименты были проведены в процессе остывания выращенных образцов в вакуумной камере. Установлено, что полученные зависимости dn и dk хорошо аппроксимируются суммой трeх осцилляторов Лоренца с добавлением дисперсионных слагаемых формулы Коши. Предложена параметрическая модель, которая описывает чувствительности dn (лямбда) и dk (лямбда) для произвольного состава x в указанном диапазоне вблизи температуры роста. Проведенные ex situ температурные измерения вблизи комнатной температуры коррелируют с данными высокотемпературных измерений. Полученные результаты актуальны для разработки эллипсометрических методов контроля in situ процессов роста слоeв Hg[1-x]Cd[x]Te.
Название источника Оптика и спектроскопия
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 129, вып. 1. - С. 33-40