Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | noma21_to57_no4_ss398_ad1 |
Дата корректировки | 11:33:29 29 июля 2021 г. |
Кодируемые данные | 210605s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
Системный контрольный номер | RUMARS-noma21_to57_no4_ss398_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
rus rus |
Индекс УДК | 539.2 |
Индекс ББК | 22.37 |
Таблицы для массовых библиотек | |
Павленко, А. В. 070 |
|
Влияние потенциала смещения на подложке на кристаллическую структуру и морфологию пленок ниобата бария-стронция, выращенных методом ВЧ-катодного распыления А. В. Павленко, С. П. Зинченко, Д. В. Стрюков [и др.] |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
Текст | |
непосредственный | |
Библиография | Библиогр.: с. 403 (13 назв. ) |
Аннотация | Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr[0. 5]Ba[0. 5]Nb[2]O[6] в кислородной атмосфере на подложки MgO (001) в различных условиях (при различных величинах внешнего поля смещения) синтезированы пленки ниобата бария-стронция. Показано, что наличие смещающего напряжения в зависимости от его полярности приводит либо к увеличению потока структурообразующих элементов к подложке, либо к снижению и, как следствие, - к изменению скорости роста пленок без ухудшения морфологии поверхности, структурного совершенства и появления примесных фаз. Обсуждаются причины выявленных закономерностей. |
Физика AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS |
|
Ключевые слова |
ниобат бария-стронция тонкие пленки ВЧ-распыление высокочастотное распыление потенциал смещения кристаллическая структура морфология пленок |
Зинченко, С. П. 070 Стрюков, Д. В. 070 Федоренко, А. Г. 070 Назаренко, А. В. 070 |
|
ISSN | 0002-337X |
Название источника | Неорганические материалы |
Место и дата издания | 2021 |
Прочая информация | Т. 57, № 4. - С. 398-403 |
RU 36713090 20210605 RCR |
|
RU 36713090 20210605 |
|
RU AR-MARS 20210605 RCR |
|
RU AR-MARS 20210605 |
|
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ |
|
Тип документа | b |
code year to no ss ad |
|
noma 2021 57 4 398 1 |
|
13607 |