Поиск

Влияние потенциала смещения на подложке на кристаллическую структуру и морфологию пленок ниобата бария-стронция, выращенных методом ВЧ-катодного распыления

Авторы: Павленко, А. В. Зинченко, С. П. Стрюков, Д. В. Федоренко, А. Г. Назаренко, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер noma21_to57_no4_ss398_ad1
Дата корректировки 11:33:29 29 июля 2021 г.
Кодируемые данные 210605s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-noma21_to57_no4_ss398_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека Дагестанского государственного университета
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 539.2
Индекс ББК 22.37
Таблицы для массовых библиотек
Павленко, А. В.
070
Влияние потенциала смещения на подложке на кристаллическую структуру и морфологию пленок ниобата бария-стронция, выращенных методом ВЧ-катодного распыления
А. В. Павленко, С. П. Зинченко, Д. В. Стрюков [и др.]
Иллюстрации/ тип воспроизводства 5 рис.
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 403 (13 назв. )
Аннотация Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr[0. 5]Ba[0. 5]Nb[2]O[6] в кислородной атмосфере на подложки MgO (001) в различных условиях (при различных величинах внешнего поля смещения) синтезированы пленки ниобата бария-стронция. Показано, что наличие смещающего напряжения в зависимости от его полярности приводит либо к увеличению потока структурообразующих элементов к подложке, либо к снижению и, как следствие, - к изменению скорости роста пленок без ухудшения морфологии поверхности, структурного совершенства и появления примесных фаз. Обсуждаются причины выявленных закономерностей.
Физика
AR-MARS
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
AR-MARS
Ключевые слова ниобат бария-стронция
тонкие пленки
ВЧ-распыление
высокочастотное распыление
потенциал смещения
кристаллическая структура
морфология пленок
Зинченко, С. П.
070
Стрюков, Д. В.
070
Федоренко, А. Г.
070
Назаренко, А. В.
070
ISSN 0002-337X
Название источника Неорганические материалы
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 57, № 4. - С. 398-403
RU
36713090
20210605
RCR
RU
36713090
20210605
RU
AR-MARS
20210605
RCR
RU
AR-MARS
20210605
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
noma
2021
57
4
398
1
13607