| Индекс УДК | 539.2 |
|
Влияние потенциала смещения на подложке на кристаллическую структуру и морфологию пленок ниобата бария-стронция, выращенных методом ВЧ-катодного распыления А. В. Павленко, С. П. Зинченко, Д. В. Стрюков [и др.] |
|
| Аннотация | Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr[0. 5]Ba[0. 5]Nb[2]O[6] в кислородной атмосфере на подложки MgO (001) в различных условиях (при различных величинах внешнего поля смещения) синтезированы пленки ниобата бария-стронция. Показано, что наличие смещающего напряжения в зависимости от его полярности приводит либо к увеличению потока структурообразующих элементов к подложке, либо к снижению и, как следствие, - к изменению скорости роста пленок без ухудшения морфологии поверхности, структурного совершенства и появления примесных фаз. Обсуждаются причины выявленных закономерностей. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 57, № 4. - С. 398-403 |
|
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ |
