| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | термоэлектрические пленки |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 6. - С. 740-743 |
|
| Имя макрообъекта | Орехов_структура |
