| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680280028 |
| Дата корректировки | 14:53:52 22 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.08.47966.430 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Асадчиков, В. Е. | |
|
Об изменении реальной структуры кристаллов кремния, имплантированных ионами водорода, при их отжиге по данным трехкристальной рентгеновской дифрактометрии Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
| Аннотация | Представлены результаты исследования методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии (ТРД) состояния нарушенного слоя в кристаллах кремния, сформированного путем имплантации ионов водорода с энергиями 100 + 200 + 300 keV, с общей дозой 2 · 10{16} cm{-2} при последующей термической обработке в интервале температур от 200 до 1100°C. Рентгеновские исследования в данной работе проводились методом ТРД в схеме, когда исследуемый образец выступает в качестве второго неподвижного кристалла с различными фиксированными угловыми отстройками альфа от положения Брэгга, а третий (совершенный) кристалл-анализатор осуществляет развертку углового распределения излучения, дифрагированного вторым кристаллом. Из сравнения формы дифракционных и диффузных максимумов для исследуемых образцов был сделан качественный вывод о значительной трансформации радиационных дефектов в процессе постимплантационного отжига. |
| Ключевые слова | кристаллы кремния |
|
имплантация ионами водорода отжиг постимплантационный отжиг радиационные дефекты трехкристальная рентгеновская дифрактометрия |
|
| Другие авторы | Дьячкова, И. Г. |
|
Золотов, Д. А. Чуховский, Ф. Н. Сорокин, Л. М. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61. вып. 8. - С. 1437-1442 |
| Имя макрообъекта | Асадчиков_об изменении |
| Тип документа | b |
