| Индекс УДК | 539.21 |
|
Об изменении реальной структуры кристаллов кремния, имплантированных ионами водорода, при их отжиге по данным трехкристальной рентгеновской дифрактометрии Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | кристаллы кремния |
| Другие авторы | Дьячкова, И. Г. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61. вып. 8. - С. 1437-1442 |
| Имя макрообъекта | Асадчиков_об изменении |
