| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Автор | Кириенко, Д. А. |
| Заглавие | Отделение тонких пленок ITO от кремниевой подложки с помощью микросекундного лазерного облучения |
| Физич. носитель | Электронный ресурс |
| Аннотация | Представлено исследование метода отделения тонких пленок ITO (indium-tin oxide) от кремниевой подложки с помощью импульсного лазерного облучения. Метод предоставляет возможность отделения пленок с толщинами от 360 нм без их разрушения. Процесс отделения заключается в последовательной обработке поверхности одиночными лазерными импульсами микросекундной длительности на длине волны 650 нм. Пленки, полученные методом высокочастотного магнетронного распыления, после отделения от кремниевой подложки обладают пропусканием более 65% в видимом диапазоне и поверхностным сопротивлением ~ 1.2 кОм/. Проведена оценка термонапряжений, возникающих в тонких пленках ITO и приводящих к ее отслаиванию. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
| Другие авторы | Березина, О. Я. |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 51, вып. 6. - С. 855-859 |
| Имя макрообъекта | Кириенко_отделение |
