| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680195405 |
| Дата корректировки | 15:13:56 21 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.06.44566.8379 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Бучин, Э. Ю. | |
|
Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге Электронный ресурс |
|
| Influence of magnetostatic field on silicide phases formation in Cu/Si(100) structure at isothermal annealing | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Экспериментально показано, что процесс твердофазного синтеза силицида меди является магниточувствительным. При низкотемпературном вакуумном отжиге тонкопленочной структуры Cu/Si(100) постоянное магнитное поле умеренной напряженности стимулирует образование твердого раствора кремния в меди и подавляет синтез фазы Cu[3]Si. |
| Ключевые слова | изотермический отжиг |
|
силициды меди твердофазный синтез силицидные фазы твердофазные реакции |
|
|
Наумов, В. В. Васильев, С. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 6. - С. 844-849 |
|
| Имя макрообъекта | Бучин_влияние |
| Тип документа | b |
