| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | изотермический отжиг |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 6. - С. 844-849 |
|
| Имя макрообъекта | Бучин_влияние |
