Поиск

Исследование кремния, легированного ионами цинка и отожженного в кислороде

Авторы: Привезенцев, В. В. Кириленко, Е. П. Горячев, А. Н. Батраков, А. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Исследование кремния, легированного ионами цинка и отожженного в кислороде
Электронный ресурс
Ключевые слова кремний
Физика и техника полупроводников
2017
Т. 51, вып. 2. - С. 187-192
Имя макрообъекта Привезенцев_исследование