Индекс УДК | 621.315.592 |
Исследование кремния, легированного ионами цинка и отожженного в кислороде Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | кремний |
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 2. - С. 187-192 |
|
Имя макрообъекта | Привезенцев_исследование |