Индекс УДК | 621.315.592 |
Исследование структурных и оптических свойств слоев GaP(N), синтезированных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложкаx Si(100) 4° Электронный ресурс |
|
Аннотация | Исследованы структурные и оптические свойства слоев GaP и GaPN, синтезированных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках Si (100), разориентированных на 4°. Показана возможность получения буферных слоев GaP, обладающих высокой планарностью гетероинтерфейсов с плотностью выходов дислокаций на поверхность не более ~ 2 · 10{8} см{-2}. Получено излучение структуры Si/GaP/GaPN в спектральном диапазоне ~ 630-640 нм при комнатной температуре. Применение отжига в процессе роста структуры Si/GaP/GaPN позволило увеличить интенсивность фотолюминесценции при комнатной температуре в 2.6 раза без сдвига положения максимума линии излучения. |
Ключевые слова | молекулярно-пучковая эпитаксия |
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 2. - С. 276-280 |
|
Имя макрообъекта | Крыжановская_исследование |